반도체 소자 실제 구동 환경 실시간 분석 현미경 시편 개발 썸네일
이미징기술

반도체 소자 실제 구동 환경 실시간 분석 현미경 시편 개발

기술분야

반도체 소자 미세구조 분석

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AI 요약

기존 전자 현미경 분석은 시료 손상 및 실제 구동 환경 재현의 어려움으로 첨단 재료 연구에 한계가 있었습니다. 본 발명은 다층 구조의 혁신적인 현미경 시편과 분석 방법을 제안합니다. 이 기술은 시료를 파괴하지 않고, 전기장 인가 상태에서 타겟 물질층의 실시간 구조 변화(예: 도메인 구조)를 정밀하게 관찰할 수 있도록 합니다. 이를 통해 반도체 소자 등 실제 구동 환경에서의 비파괴적, 실시간 재료 분석이 가능해져 첨단 전자 디바이스 개발에 크게 기여할 것입니다.

기본 정보

기술명
현미경 시편, 및 현미경을 이용한 이의 분석 방법
기관명
서강대학교
대표 연구자공동연구자
유효빈-
출원번호등록번호
10202201070681027786930000
권리구분출원일
특허2022.08.25
중요 키워드
실시간 분석반도체 장치 분석전기장 인가비파괴 검사구조 변화 측정물질 분석 기술현미경 시편다층 시편고집적 전자 디바이스재현성 높은 분석타겟 물질층첨단 분석 장비전자 현미경도메인 구조TEM 시편이미징기술물질분석

기술완성도 (TRL)

기본원리 파악
기본개념 정립
기능 및 개념 검증
연구실 환경 테스트
유사환경 테스트
파일럿 현장 테스트
상용모델 개발
실제 환경 테스트
사업화 상용운영

기술 소개

매도/매수 절차

기술이전 상담신청

연구자 미팅

기술이전 유형결정

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계약 및 기술료 입금

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서강대학교

담당자서강대학교산학협력단
이메일tlo@sogang.ac.kr
연락처02-3274-4863

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