
반도체 소자 실제 구동 환경 실시간 분석 현미경 시편 개발
AI 요약
기존 전자 현미경 분석은 시료 손상 및 실제 구동 환경 재현의 어려움으로 첨단 재료 연구에 한계가 있었습니다. 본 발명은 다층 구조의 혁신적인 현미경 시편과 분석 방법을 제안합니다. 이 기술은 시료를 파괴하지 않고, 전기장 인가 상태에서 타겟 물질층의 실시간 구조 변화(예: 도메인 구조)를 정밀하게 관찰할 수 있도록 합니다. 이를 통해 반도체 소자 등 실제 구동 환경에서의 비파괴적, 실시간 재료 분석이 가능해져 첨단 전자 디바이스 개발에 크게 기여할 것입니다.
기본 정보
기술명 | |
현미경 시편, 및 현미경을 이용한 이의 분석 방법 | |
기관명 | |
서강대학교 | |
대표 연구자 | 공동연구자 |
유효빈 | - |
출원번호 | 등록번호 |
1020220107068 | 1027786930000 |
권리구분 | 출원일 |
특허 | 2022.08.25 |
중요 키워드 | |
실시간 분석반도체 장치 분석전기장 인가비파괴 검사구조 변화 측정물질 분석 기술현미경 시편다층 시편고집적 전자 디바이스재현성 높은 분석타겟 물질층첨단 분석 장비전자 현미경도메인 구조TEM 시편이미징기술물질분석 |
기술완성도 (TRL)
기본원리 파악
기본개념 정립
기능 및 개념 검증
연구실 환경 테스트
유사환경 테스트
파일럿 현장 테스트
상용모델 개발
실제 환경 테스트
사업화 상용운영
기술 소개
매도/매수 절차
기술이전 상담신청
연구자 미팅
기술이전 유형결정
계약서 작성 및 검토
계약 및 기술료 입금

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