기존 미세 유체 펌프는 낮은 총 흡입 용량과 유량 문제로 나노 바이오 공학 분야 적용에 한계가 있었습니다. 본 발명은 이러한 문제를 해결하는 혁신적인 미세 유체 펌프 및 이를 포함하는 고성능 발전기 기술을 소개합니다. 이 미세 유체 펌프는 내부에 공간을 가진 하우징과, 물 또는 수용액을 흡수하여 팽창하며 음압을 형성하는 흡수제(하이드로젤 등)를 포함합니다. 또한, 물의 확산을 돕는 확산 부재(메탈폼)를 통해 흡수 효율을 극대화하여 기존 대비 월등히 증가된 총 흡입 용량과 높은 유량을 안정적으로 생성합니다. 이 기술은 농도차를 이용한 발전기에 적용되어 효율적인 유체 구동력을 제공함으로써, 바이오센서, 의료기기 등 다양한 미세 유체 장치의 성능을 혁신적으로 향상시킬 수 있습니다.