서강대학교 기술이전 플랫폼

물질분석 외

금속층 1차 전사로 원자현미경 해상도 높이는 프로브 몰드 개발

기술분야

AFM 프로브 성형 기술

판매 유형

직접 판매

판매 상태

판매 중

거래방식

공동연구

라이센스

특허판매

노하우

AI 요약

기존 원자현미경 프로브 몰드 제조는 팁 곡률반경 문제로 해상도 저하를 겪었습니다. 본 발명은 이러한 한계를 극복하기 위해 혁신적인 원자현미경 프로브 사출용 몰드 및 제조 방법을 제안합니다. 금속층 1차 전사와 탄성 실리콘 2차 전사를 통해 팁 곡률반경을 획기적으로 줄여 원자현미경의 해상도를 극대화합니다. 또한, 모세관 힘을 활용한 주입구 설계로 프로브 형성 물질의 주입 효율을 대폭 향상시킵니다. 이 기술은 고성능 AFM 프로브 생산의 생산성과 정밀도를 동시에 높여 연구 및 산업 현장의 요구를 충족시킵니다.

기본 정보

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기술명
원자현미경 프로브 사출용 몰드 및 이의 제조 방법
기관명
서강대학교산학협력단
대표 연구자	공동연구자
이정철	-
출원번호	등록번호
1020170091313	1020868020000
권리구분	출원일
특허	2017.07.19
중요 키워드
주형 설계해상도 향상모세관 주입정밀 계측 장비몰드 제조 기술금속층 전사곡률반경 제어마이크로 팁나노 계측AFM 프로브반도체 분석캔틸레버 제조원자현미경 프로브사출 성형탄성 실리콘물질분석나노구조

기술완성도 (TRL)

기본원리 파악

기본개념 정립

기능 및 개념 검증

연구실 환경 테스트

유사환경 테스트

파일럿 현장 테스트

상용모델 개발

실제 환경 테스트

사업화 상용운영

기본원리 파악

기본개념 정립

기능 및 개념 검증

연구실 환경 테스트

유사환경 테스트

파일럿 현장 테스트

상용모델 개발

실제 환경 테스트

사업화 상용운영

기술 소개

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기술이전 상담신청

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서강대학교

담당자서강대학교산학협력단

이메일tlo@sogang.ac.kr

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보유 기술

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가격 협의

기존의 광학 계측 장비는 큰 부피와 복잡한 제조 공정으로 인해 소형화 및 비용 절감에 어려움이 있었습니다. 본 발명은 이러한 한계를 극복하는 혁신적인 계측 장치 및 마이크로튜브 제조 방법을 제시합니다. 본 기술은 미세유체나 부유 입자의 물성을 정밀하게 계측하기 위한 소형 장치입니다. 핵심 구성 요소는 미세유체를 담는 마이크로튜브, 진동을 가하는 액추에이터, 그리고 그 진동을 전류 신호로 변환하는 튜닝 포크입니다. 특히, 광학 장비를 튜닝 포크로 대체하여 장비의 크기를 획기적으로 줄였으며, 이는 다른 시스템으로의 이식 및 진공 패킹을 용이하게 합니다. 또한, 마이크로튜브는 유리모세관을 레이저 히팅 후 인장하는 소성가공을 통해 제조됩니다. 이 독자적인 제조 방식은 기존 MEMS 공정보다 공정이 단순하여 제조 단가를 절감하고 생산 수율을 대폭 향상시키는 장점이 있습니다. 본 장치는 미세유체 밀도 측정, 미세 입자 분석, 전기 이온 분극 등 다양한 분야에 적용될 수 있어, 바이오, 의료 및 정밀 측정 산업 발전에 크게 기여할 것으로 기대됩니다.

공진 주파수 측정광학 장비 대체랩온어칩레이저 풀링마이크로튜브 제조

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가격 협의

기존 고분자 공진기는 단일 재료 사용으로 형상 제작의 한계와 자유도 부족 문제가 있었습니다. 본 발명은 이러한 문제점을 해결하고자 고분자 공진 구조물 및 그 제조방법을 제시합니다. 본 기술은 고분자 재료를 복합 재료 또는 분리된 공정으로 활용하여 공진기를 생산하며, 자외선 경화 수지를 이용해 미세 구조까지 제작이 용이하고 형상 자유도가 매우 높은 것이 특징입니다. 특히, 자외선 경화 방식 적용으로 공정 속도가 빨라져 신속한 생산이 가능합니다. 이로써 다양한 형태의 고분자 공진기를 효율적으로 제작할 수 있는 혁신적인 솔루션을 제공합니다.

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금속층 1차 전사로 원자현미경 해상도 높이는 프로브 몰드 개발

가격 협의

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나노구조

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갈륨인듐 합금곡면 프린팅마이크로 회로미세 패턴상변화 패터닝

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