나노 소자의 미세한 동작 및 열 변화를 정확히 측정하는 데 기존 열 영상화 기법은 분해능, 비용, 측정 시간 등 다양한 한계를 가지고 있습니다. 본 발명은 이러한 문제점을 해결하고자 인디케이터를 활용한 획기적인 광학 현미경 기술을 제안합니다. 이 현미경은 빛을 원편광시켜 조사 대상에 입사하고, 대상의 열에 의해 인디케이터에서 발생하는 열응력 변화를 광학적으로 분석하여 열 분포를 실시간으로 영상화합니다. 특히, 경제적인 유리 인디케이터와 저렴한 광학 센서를 사용하여 비용 효율적이며, 수 밀리 켈빈(mK) 수준의 높은 감도로 미세 소자의 열적 특성을 정밀하게 분석할 수 있습니다. 이 기술은 소자 구동 방식 조사 및 신뢰성 검증에 큰 기여를 할 것으로 기대됩니다.