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기존 MEMS 스위치 기술은 높은 동작 전압과 낮은 신뢰성 문제로 저전력 임베디드 메모리 등 차세대 소자 적용에 한계가 있었습니다. 본 기술은 이러한 문제점을 해결하고자 개발된 전기기계적 스위칭 소자 및 그 제조 방법에 관한 것입니다. 동일 평면에 위치한 도전성 빔 라인과 접촉 전극이 스위칭 과정에서 상호 절곡되는 혁신적인 구조를 통해 동작 전압을 획기적으로 낮추고 스위칭 신뢰성을 개선합니다. 또한, 스위칭 시 발생하는 응력을 저하시켜 소자의 내구성을 크게 향상시킬 수 있습니다. 전극 간 접촉력을 활용하여 비휘발성 특성 구현이 가능하며, 이는 기능 전환형 스위칭 소자로서의 활용 가능성을 제시합니다. 본 발명은 간소화된 제조 공정으로 우수한 성능의 전기기계적 스위칭 소자를 생산할 수 있어, 차세대 저전력 전자기기 시장에 크게 기여할 것으로 기대됩니다.
기술명 | |
전기기계적 스위칭 소자 및 제조 방법 | |
기관명 | |
서강대학교산학협력단 | |
대표 연구자 | 공동연구자 |
최우영 | - |
출원번호 | 등록번호 |
1020160155941 | 1019128760000 |
권리구분 | 출원일 |
특허 | 2016.11.22 |
중요 키워드 | |
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